三轴 MEMS 陀螺仪测量载体的角速率，三轴 MEMS 加速度计测量载体的线加速度，产 品内部进行了全温度参数的零位、标度因数、非正交误差和与加速度有关项的补偿， 可以长时间保持较高的测量精度，其独立结构内集成了高性能的MEMS陀螺仪以及MEMS 加速度计，选用的陀螺仪和加速度计均代表 MEMS 工艺惯性器件的领先水平。

指标参数：